心跳
PLC
OFF
CIM
OFF
設備狀態
NONE(0)
CIM 模式
CIM OFF(0)
操作模式
Manual(0)
WIP 總數
0
Recipe ID
-
| Substrate ID | Work No. | 目前位置 | 位置編號 | Source Port | Source Slot | Lot ID |
|---|
設備內沒有基板
| 時間 | 等級 | 設備 | 單元 | 代碼 | 告警描述 |
|---|
無即時警報